薄膜厚度測量系統(tǒng)
Thin Film Thickness Measurement System

快速、準(zhǔn)確、無損、靈活、易用、性價比高

產(chǎn)品簡介：
    TF200薄膜厚度測量系統(tǒng)利用薄膜干涉光學(xué)原理，對薄膜進行厚度測量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面，探頭同位接收反射光線。TF200根據(jù)反射回來的干涉光，用反復(fù)校準(zhǔn)的算法快速反演計算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm，可同時完成多層膜厚的測試。對于100nm以上的薄膜，還可以測量n和k值。

應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體（SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS，SOI等）

LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等)

LED (SiO2、光刻膠ITO等）

觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測試等)

汽車(防霧層、Hard CoatingDLC等）

醫(yī)學(xué)（聚對二甲苯涂層球囊/導(dǎo)尿管壁厚藥膜等）

產(chǎn)品的優(yōu)勢

應(yīng)用案例（數(shù)據(jù)可靠）

薄膜厚度測量系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

注：1.取決于材料0.4%或2nm之間取較大者。

2.可選微光斑附件。